
TS150-AIT & TS200-THZ
TS 150-AITとTS 200-THZプローブシステムは、高速5 G通信、衛星、非侵入スペクトル、医療保健設備、短距離自動車レーダーなどの新興THz応用のために設計されており、その方法は同じプローブ台に能動インピーダンスチューナ集積を追加することである。この2つのシステムは業界初の明確に設計された150 mmと200 mmプローブシステムであり、ミリ波、テラヘルツ(THz)、自動インピーダンスチューナ応用の要求を組み合わせて、最適な測定方向性で正確なテストを提供することができる。
- 1.5 THzまでの任意の帯域幅、差分または広帯域拡散器、および/または自動インピーダンスチューナのシームレスな統合、
- エクスパンダ/チューナー統合の斬新な設計で、最大の測定動態を実現することができる、
- 最大の機械的安定性と再現性、便利で安全な操作を組み合わせています。
TS 150-AIT&TS 200-THZ詳細メリット
MPI TS 200-THZ手動プローブシステムは比類のない機能を持っている。これらの高再現性(1µm)のプラテンリフト設計は、安全、接触、分離(300µm)、荷重(3 mm)のための3つのオフライン位置を備えている。これらの機能により、予期せぬプローブやウェハの破損を防止しながら、直感的な制御、正確な接点の位置決め、安全な設定を提供します。追加されたProbe Hover Control™サスペンション高さ(50、100、または150µm)があり、プローブをパッドに容易に容易に整列することができます。

特徴と利点
エアフロート式移動システム
MPI独特のエアクッションステージの設計は、簡単な片手スケーラブル制御を持ち、迅速なXYナビゲーションとウェハロードに比類のない操作利便性を提供し、同時に精密な25 x 25 mmのXY-Thetaマイクロメータコアを組み合わせ、正確な位置決め能力に影響を与えない。

チャックZ調整
TS 150-THZは10 mmのファインチャックZ調整を有し、Rohde&Schwarz、VDIまたはOMLなどの異なるスペクトル拡散器を柔軟に統合することを目的としている。同じプローブシステム上で複数のベンドソリューションを使用する設定には非常に有利で、簡単に迅速に設定することができます。

マイクロポジショナ
専用の極剛性プローブプラテンは、東西方向に配置された下りMP 80大面積マイクロアドレスセレクタという2つの東西方向の太字体を収容できるように設計されている。2つの南北「ブリッジ」を標準構成とすることで、4ポートRF測定やDCバイアスを容易に行うことができます。

MP80-DX
市場におけるもう1つのMPI開拓的ソリューションである独特なMP 80-DXは、1µmまでの単純で正確な精度を持ち、正確で経済的で効率的なマルチラインTRLの理想的な選択、すなわち、マルチラインTRL-ミリ波とサブテラヘルツの範囲内で唯一のRFキャリブレーション方法である。詳細については、MPI QAlibriaを参照してください。® ソフトウェア。

複数のチャックオプション
TS 200-THZは、MPI:BNCコネクタ付き標準RFチャック、専用mmWチャックは、高い熱伝導率(>180 W/Km)を持つ特殊セラミックスを完全に内蔵している。MERS AirCool無線周波数チャック(20°Cから200°C以上)も、統合されたメッキ上面と小さな真空孔を備えている。すべてのチャックには、正確なRF較正、特に40 GHz以上の範囲で使用するために、セラミック材料で作られた2つの補助チャックがあります。

複数の光学オプション
専用のMPI光学素子を提供し、単管MPI SuperZoom SZ 10またはMegaZoom MZ 12を選択することができ、その光学ズームは12倍に達し、動作距離は45ミリを超える。集積拡散器固有の空間的制約のため、DUTとの距離が最も短いことが要求されるため、この顕微鏡の体積は小さく、RFとmmW応用に非常に適している。

拡散器統合
TS 200-THZは新しい拡散器統合設計を統合した。DUTまでの距離を最大限に減らし、最適な測定方向性を提供するために、MPIは拡張器を200 mmウエハ全体に懸架する新しい概念を導入した。新型TS 200-THZプローブ台の追加のキー機能は、容易で、便利で迅速に再配置することです。
